主題：教學觀摩
名稱：電子與光電材料
日期：2014-10-14
時間：14:20-15:10
地點：H541
主講人：連水養老師

內容：
黃光製程是整個TFT-LCD生產過程中最重要的製程，因為黃光扮演基礎的角色可以說是品質把關的第一關。一片TFT玻璃的生產製程中，包含薄膜、黃光和蝕刻等3個製程。首先，在薄膜製程中會長成當層電路所需材質的薄膜，之後交由黃光製程負責將每一層的電路圖形，透過光阻的使用，定義在玻璃基板上，然後交到蝕刻製程，將沒有被光阻覆蓋及保護的薄膜去除，最後再將光阻除去，光罩上的圖形便顯露在玻璃基板的薄膜上。
所謂的黃光製程，就是指將光阻塗佈在長完膜的基板上，經由曝光程序，形成電路圖形的過程。由於曝光通常都在柔和的黃光環境下進行（避免使光阻在未曝光前受到光的污染），因此俗稱為黃光製程。如果在曝光的過程中稍微有差錯，例如圖形沒有對準，TFT-LCD的品質就會大大受影響。